玻璃材料

微流控芯片是一种微小化的实验室系统，用于控制和操作微小液体流体。其中，芯片的材料至关重要，因为它可以直接影响芯片的性能和稳定性。

常用的微流控芯片材料之一是玻璃。玻璃具有许多优点，如优异的化学稳定性、透明度、高温稳定性和耐腐蚀性等。

此外，玻璃还具有平整表面和均匀的孔洞分布，这些特性使得制造微流控芯片更加容易和可控。

在玻璃材料中，常用的有石英玻璃、硼硅玻璃和热熔玻璃等。其中，石英玻璃具有高透明度、耐高温和耐腐蚀性等特性，是制造微流控芯片的首选材料之一。

硼硅玻璃具有高温稳定性和良好的光学特性，常用于制造生物芯片。热熔玻璃具有较高的化学稳定性和均匀的孔洞分布，通常用于制造微流控反应器。

综上所述，玻璃是制造微流控芯片的优选材料之一，不同类型的玻璃材料可以根据不同的应用需求进行选择。

目前最常用的玻璃有BF33，B270，D263

1.BF33玻璃

BF33玻璃是一种硼硅酸盐玻璃，其成分主要包括SiO2（68.1%），B2O3（14.1%），Na2O（9.3%）和Al2O3（7.1%）。BF33玻璃具有优异的光学性能，透光性好，抗酸碱腐蚀性强，可耐受高温高压，且容易加工成复杂形状。因此，它常被用于制作微流控芯片中的通道和反应池。

2.B270玻璃

B270玻璃是一种碱金属镁铝硅酸盐玻璃，其成分主要包括SiO2（69.2%），Al2O3（1.3%），MgO（3.3%），K2O（8.8%）和Na2O（16.6%）。B270玻璃具有优异的平整度和光学性能，表面均匀度高，抗酸碱腐蚀性强，且具有较高的热稳定性和化学稳定性。因此，它常被用于制作微流控芯片中的底部基板。

3.D263玻璃

D263玻璃是一种硅酸盐玻璃，其成分主要包括SiO2（64.8%），Na2O（8.6%），Al2O3（3.9%），MgO（4.2%）和CaO（7.6%）。D263玻璃具有高透明度、低荧光、低自由离子含量等特点，因此，它被广泛应用于光学器件领域。在微流控芯片中，D263玻璃可用于制作微型通道和反应池。

他们的区别对比如下表所示：

特性	BF33玻璃	B270玻璃	D263玻璃
成分	SiO2、B2O3、Al2O3	SiO2、Al2O3、MgO、Na2O、K2O	SiO2、Al2O3、Na2O
抗化学腐蚀性	优良	一般	差
透光性	优良	优良	优良
抗热性	优良	优良	一般
加工性能	一般	优良	优良
价格	中等	中等	便宜

需要说明的是，以上仅列出了BF33、B270和D263玻璃的一些主要特性和优缺点，并不代表在微流控芯片制造中仅仅只能使用这三种材料，还有其他类型的玻璃材料也常常被应用在微流控芯片中。

微流控玻璃芯片的加工方法

1 湿法腐蚀

湿法腐蚀是一种常见的微流控玻璃芯片加工方式。通过在玻璃芯片表面镀一层耐酸碱的铬层和光刻胶，然后用铬层和光刻胶层共同作为掩模，在酸或碱性溶液中进行腐蚀。

通过控制腐蚀时间和腐蚀液的配方，可以制造出各种形状的微通道和微结构。

2 激光加工

激光加工是一种高精度的微流控玻璃芯片加工方式。激光加工可以通过调节激光功率和聚焦距离来实现不同形状和尺寸的微通道和微结构的制备。激光加工可以实现高精度的加工和非接触式的加工，可以制造出更加复杂的微流控芯片。

3 机加工

机加工是一种传统的微加工技术，主要包括数控机床加工、玻璃切割、磨削加工等方法。机加工方法的优点在于可以加工出高度精密的微结构，同时可以使用不同的加工工具进行不同形状的加工。但是机加工方法也存在着一些局限性，例如加工速度较慢、成本较高、容易产生碎屑等问题。

玻璃型号与规格

顶旭微控可提供如下型号的的空白玻璃和腐蚀用玻璃（镀铬+光刻胶）。

玻璃型号	玻璃厚度	玻璃大小	铬厚度/胶层厚度
BF33/铬版玻璃	1mm 2mm	101.6×101.6mm 127x127mm 152.4×152.4mm	180nm/500nm
D270	1mm 2mm 4mm	101.6×101.6mm 127x127mm 152.4×152.4mm	180nm/500nm
D263	0.7mm	101.6×101.6mm 127x127mm 152.4×152.4mm	180nm/500nm