微流控金属芯片

1 微流控金属材料材料

金属流道，包括不锈钢和钛。

2 制备方式

2.1 机加工

金属微流控芯片的金属流道最小流道宽度：0.2mm，深宽比1：1，加工精度±20um

2.2 电火花加工

金属微流控芯片的金属流道最小流道宽度：0.1mm，深宽比1：1，加工

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