微流控玻璃芯片

玻璃芯片是一种微流体技术中的重要工具，采用玻璃作为芯片的制造材料。与传统的聚合物芯片相比，玻璃芯片具有出色的光学透明性、化学惰性、热稳定性和生物相容性。

这些特性使得玻璃芯片在生命科学研究、医学诊断和药物筛选等领域得到广泛应用。玻璃芯片的制备工艺多样，可以通过微机械加工、化学蚀刻等方法精确制造微小结构和微通道，实现微流控系统的集成。

其高度可控的制备过程为实验提供了更稳定、可靠的平台，同时其透明性有助于实时观察微流体内的细胞、颗粒或生化反应，为微流体技术的应用提供了先进而可靠的解决方案。

1 玻璃芯片材料

玻璃材料的特点

优越的光学透明性：便于光学检测和观察

优异的耐腐蚀性：能够耐受各种酸、碱和有机溶剂的侵蚀，适用于各种化学实验和分析

生物相容性：适用于生物分析和细胞培养等应用

耐高温性：适用于高温反应和热循环实验

可加工：玻璃材质可以进行高精度的加工和微纳加工，以制造微流控芯片中的微通道和微反应室。

特点/应用场合	B270玻璃	BF33玻璃	D263玻璃
光学性能	优异光学透明性	高透射率，低荧光，激光系统	通用光学玻璃，显微镜镜片，生物芯片
机械强度	较高抗压和抗弯强度	一般	一般
热膨胀系数	适中	较低	适中
化学稳定性	良好，可耐受一些化学物质	良好，低荧光，高耐腐蚀性	良好，多用于生物领域
温度稳定性	适中	好	适中
制备复杂度	适中	较难腐蚀	适中
主要应用场合	常规应用场合	需要低荧光背景，耐腐蚀性的场合	生物芯片

2 加工方式

制备方法	优势	劣势
湿法腐蚀	1）适用于制备微流控通道，成本较低 2）可以批量生产	1）刻蚀不均匀，容易挖角 2）化学液体对环境有害，需要处理
干法腐蚀	1）实现各向异性和精确刻蚀 2）适用于高纵横比微结构	1）低刻蚀速率 2）低选择性刻蚀
激光制备	制备效率高	1）玻璃脆性，容易出现微裂纹 2）槽底质量差
机械制备	制备效率高	1）难以获得光滑加工表面 2）微结构尺寸受工具限制
光结构化	1）无需光刻胶层 2）适用于光敏玻璃	1）制备时间较长 2）成本较高
压模法	高效制备微结构	需要解决模具制备和参数优化的挑战

湿法腐蚀

微流控玻璃芯片流道深度20um以上加工效率高，深宽比2:1以上。

微流控玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，目前，微流控玻璃芯片最长用的是玻璃的湿法腐蚀。

微流控玻璃芯片湿法腐蚀流程：

顶旭微控产品（标准玻璃芯片）

产品编号	外形 （mm）	宽度 （um）	高度 （um）	厚度 （mm）	芯片材质	价格 （CNY）
J0001	22.5*15	105&300	50	2+2	BF270	1000
J0002	22.5*15	105	50	2+2	BF270	1000
J0003	22.5*15	105&300	50	2+2	BF270	1000
J0004	22.5*15	105	50	2+2	BF270	1000
J0005	22.5*15	105	50	2+2	BF270	1000
J0006	22.5*15	105	50	2+2	BF270	1000
J0007	22.5*15	450	50	2+2	BF270	1000
夹具		/	/	/	铝	1500

本公司也可提供特性化的微流控玻璃芯片加工服务，具体详情，欢迎来电咨询+86-17751163890（同微信），邮箱:sale@dxfluidics.com

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